Fabrication and characterization of novel...

Journal of Materials Science: Materials in Electronics 2012 / 02 Vol. 23; Iss. 2

Fabrication and characterization of novel silicon-compatible high-density capacitors

Himani Sharma, Kanika Sethi, P. Markondeya Raj, Rao Tummala
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Volume:
23
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.1007/s10854-011-0431-9
Date:
February, 2012
Fichier:
PDF, 535 KB
english, 2012
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