ChemInform Abstract: VAPOR-PHASE ETCHING AND POLISHING OF...

Chemischer Informationsdienst 1976 / 01 Vol. 7; Iss. 1

ChemInform Abstract: VAPOR-PHASE ETCHING AND POLISHING OF GALLIUM ARSENIDE USING HYDROGEN CHLORIDE GAS

BHAT, RAJARAM, BALIGA, B. JAYANT, GHANDHI, SORAB K.
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Volume:
7
Journal:
Chemischer Informationsdienst
DOI:
10.1002/chin.197601004
Date:
January, 1976
Fichier:
PDF, 224 KB
1976
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