A Multitorch RF Plasma System as a Way to Improve...

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IEEE Transactions on Plasma Science 2019

A Multitorch RF Plasma System as a Way to Improve Temperature Uniformity for High-Power Applications

Matveev, Igor B., Serbin, Serhiy I.
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Année:
2019
Journal:
IEEE Transactions on Plasma Science
DOI:
10.1109/tps.2019.2950260
Fichier:
PDF, 2.84 MB
2019
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