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Numerical and experimental comparison of MEMS suspended...

Analog Integrated Circuits and Signal Processing 2008 / 12 Vol. 57; Iss. 3

Numerical and experimental comparison of MEMS suspended plates dynamic behaviour under squeeze film damping effect

Aurelio Somà, Giorgio De Pasquale
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Volume:
57
Langue:
english
Pages:
12
DOI:
10.1007/s10470-008-9165-x
Date:
December, 2008
Fichier:
PDF, 835 KB
english, 2008
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