Structural and Electrical Parameters of ZnO Thin Films...

Crystals 2019 / 10 Vol. 9; Iss. 11

Structural and Electrical Parameters of ZnO Thin Films Grown by ALD with either Water or Ozone as Oxygen Precursors

Seweryn, Aleksandra, Pietruszka, Rafal, Witkowski, Bartlomiej S., Wierzbicka, Aleksandra, Jakiela, Rafal, Sybilski, Piotr, Godlewski, Marek
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Volume:
9
Langue:
english
Journal:
Crystals
DOI:
10.3390/cryst9110554
Date:
October, 2019
Fichier:
PDF, 5.05 MB
english, 2019
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