Experimental study of the ultrathin oxides on SiGe alloy...

Materials Science in Semiconductor Processing 2020 / 03 Vol. 107

Experimental study of the ultrathin oxides on SiGe alloy formed by low-temperature ozone oxidation

Ma, Xueli, Wang, Xiaolei, Zhou, Lixing, Xu, Hao, Zhang, Yuanyuan, Duan, Jiahui, Xiang, Jinjuan, Yang, Hong, Li, Junjie, Li, Yongliang, Yin, Huaxiang, Wang, Wenwu
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Volume:
107
Langue:
english
Journal:
Materials Science in Semiconductor Processing
DOI:
10.1016/j.mssp.2019.104832
Date:
March, 2020
Fichier:
PDF, 2.17 MB
english, 2020
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