Enhanced Reliability of 7-nm Process Technology Featuring...

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2019
Enhanced Reliability of 7-nm Process Technology Featuring...

IEEE Transactions on Electron Devices 2019

Enhanced Reliability of 7-nm Process Technology Featuring EUV

Choi, Kihyun, Shim, Hyewon, Park, Junekyun, Cho, Youngwoo, Rhee, Hwasung, Pae, Sangwoo, Sagong, Hyun Chul, Kang, Wonchang, Kim, Hyunjin, Hai, Jiang, Lee, Miji, Kim, Bomi, Lee, Mi-ji, Lee, Soonyoung

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Année:

2019

Langue:

english

Journal:

IEEE Transactions on Electron Devices

DOI:

10.1109/TED.2019.2950008

Fichier:

PDF, 2.43 MB

english, 2019

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