Nanomechanical Characterization of Vertical Nanopillars...

Sensors 2019 / 10 Vol. 19; Iss. 20

Nanomechanical Characterization of Vertical Nanopillars Using an MEMS-SPM Nano-Bending Testing Platform

Li, Zhi, Gao, Sai, Brand, Uwe, Hiller, Karla, Hahn, Susann, Hamdana, Gerry, Peiner, Erwin, Wolff, Helmut, Bergmann, Detlef
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Volume:
19
Langue:
english
Journal:
Sensors
DOI:
10.3390/s19204529
Date:
October, 2019
Fichier:
PDF, 5.56 MB
english, 2019
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