Assessing the Thickness of Thin Films Based on Elemental...

Technical Physics Letters 2019 / 7 Vol. 45; Iss. 7

Assessing the Thickness of Thin Films Based on Elemental Data Composition of Film Structures

Nikolaenko, Yu. M., Korneevets, A. S., Efros, N. B., Burkhovetskii, V. V., Reshidova, I. Yu.
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Volume:
45
Journal:
Technical Physics Letters
DOI:
10.1134/S1063785019070083
Date:
July, 2019
Fichier:
PDF, 376 KB
2019
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