Improved and simpler estimation of scale linearity...

Precision Engineering 2019 / 11 Vol. 60

Improved and simpler estimation of scale linearity contribution to topography measurement

Giusca, Claudiu L., Goel, Saurav
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Volume:
60
Journal:
Precision Engineering
DOI:
10.1016/j.precisioneng.2019.09.002
Date:
November, 2019
Fichier:
PDF, 2.10 MB
2019
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