Investigation on the Edge Chipping in Ultrasonic Assisted...

Micromachines 2019 / 09 Vol. 10; Iss. 9

Investigation on the Edge Chipping in Ultrasonic Assisted Sawing of Monocrystalline Silicon

Shen, Jianyun, Zhu, Xu, Chen, Jianbin, Tao, Ping, Wu, Xian
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Volume:
10
Journal:
Micromachines
DOI:
10.3390/mi10090616
Date:
September, 2019
Fichier:
PDF, 7.86 MB
2019
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