Automated characterisation and analysis of large arrays of...

Precision Engineering 2019 / 11 Vol. 60

Automated characterisation and analysis of large arrays of nanostructures fabricated at wafer scale

Llobet, J., Martins, M., Calaza, C., Antunes, M., Martins, S., Fonseca, H., Pires, B., Gaspar, J.
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Volume:
60
Journal:
Precision Engineering
DOI:
10.1016/j.precisioneng.2019.08.017
Date:
November, 2019
Fichier:
PDF, 2.21 MB
2019
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