CMP characteristics of quartz glass substrate by aggregated...

Precision Engineering 2019 / 11 Vol. 60

CMP characteristics of quartz glass substrate by aggregated colloidal ceria slurry

Wakamatsu, Kaito, Kurokawa, Syuhei, Toyama, Takaaki, Hayashi, Terutake
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Volume:
60
Langue:
english
Journal:
Precision Engineering
DOI:
10.1016/j.precisioneng.2019.06.014
Date:
November, 2019
Fichier:
PDF, 9.46 MB
english, 2019
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