Micromachined gas sensors for environmental pollutants

Microsystem Technologies 1999 / 12 Vol. 6; Iss. 2

Micromachined gas sensors for environmental pollutants

G. Faglia, E. Comini, M. Pardo, A. Taroni, G. Cardinali, S. Nicoletti, G. Sberveglieri
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Volume:
6
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1007/s005420050175
Date:
December, 1999
Fichier:
PDF, 189 KB
english, 1999
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