High sensitivity and small size MEMS capacitive microphone...

Microsystem Technologies 2009 / 09 Vol. 15; Iss. 9

High sensitivity and small size MEMS capacitive microphone using a novel slotted diaphragm

Bahram Azizollah Ganji, Burhanuddin Yeop Majlis, SMIEEE
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Volume:
15
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1007/s00542-009-0902-6
Date:
September, 2009
Fichier:
PDF, 344 KB
english, 2009
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