Measurement of side walls of high aspect ratio...

Microsystem Technologies 2008 / 10 Vol. 14; Iss. 9-11

Measurement of side walls of high aspect ratio microstructures

M. Simon, E. Reznikova, V. Nazmov, A. Last
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Volume:
14
Langue:
english
Pages:
3
DOI:
10.1007/s00542-008-0618-z
Date:
October, 2008
Fichier:
PDF, 193 KB
english, 2008
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