Stress engineering and mechanical properties of SU-8-layers...

Microsystem Technologies 2008 / 10 Vol. 14; Iss. 9-11

Stress engineering and mechanical properties of SU-8-layers for mechanical applications

J. Hammacher, A. Fuelle, J. Flaemig, J. Saupe, B. Loechel, J. Grimm
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Volume:
14
Langue:
english
Pages:
9
DOI:
10.1007/s00542-007-0534-7
Date:
October, 2008
Fichier:
PDF, 440 KB
english, 2008
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