Three-dimensional simulation of sacrificial etching

Microsystem Technologies 2008 / 04 Vol. 14; Iss. 4-5

Three-dimensional simulation of sacrificial etching

Johann Cervenka, Hajdin Ceric, Siegfried Selberherr
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Volume:
14
Langue:
english
Pages:
7
DOI:
10.1007/s00542-007-0491-1
Date:
April, 2008
Fichier:
PDF, 362 KB
english, 2008
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