Micro-electro-mechanical systems fast fabrication by...

Microsystem Technologies 2006 / 09 Vol. 12; Iss. 10-11

Micro-electro-mechanical systems fast fabrication by selective thick polysilicon growth in epitaxial reactor

O. De Sagazan, M. Denoual, P. Guil, D. Gaudin, O. Bonnaud
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Volume:
12
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1007/s00542-006-0176-1
Date:
September, 2006
Fichier:
PDF, 424 KB
english, 2006
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