Exploring conductivity in ex-situ...

Journal of Applied Physics 2019 / 06 Vol. 125; Iss. 22

Exploring conductivity in ex-situ doped Si thin films as thickness approaches 5 nm

MacHale, John, Meaney, Fintan, Kennedy, Noel, Eaton, Luke, Mirabelli, Gioele, White, Mary, Thomas, Kevin, Pelucchi, Emanuele, Petersen, Dirch Hjorth, Lin, Rong, Petkov, Nikolay, Connolly, James, Hatem
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Volume:
125
Journal:
Journal of Applied Physics
DOI:
10.1063/1.5098307
Date:
June, 2019
Fichier:
PDF, 2.21 MB
2019
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