Dependence of Texture Tilt and Excitation Efficiency of...

Technical Physics 2019 / 5 Vol. 64; Iss. 5

Dependence of Texture Tilt and Excitation Efficiency of Shear Waves for ZnO Films on Working Gas Pressure in a DC Magnetron System

Veselov, A. G., Elmanov, V. I., Kiryasova, O. A., Nikulin, Yu. V.
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Volume:
64
Langue:
english
Journal:
Technical Physics
DOI:
10.1134/S1063784219050256
Date:
May, 2019
Fichier:
PDF, 795 KB
english, 2019
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