A Triaxial Accelerometer Based on Differential Resonant...

IEEE Sensors Journal 2019 / 8 Vol. 19; Iss. 16

A Triaxial Accelerometer Based on Differential Resonant Beams and Force-Balanced Capacitive Plates

Han, Jianqiang, Zhu, Yongsheng, Tao, Gonghao, Zhao, Zhengqian, Yin, Yijun, Niu, Wenju, Dong, Lizhen
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Volume:
19
Langue:
english
Journal:
IEEE Sensors Journal
DOI:
10.1109/jsen.2019.2911740
Date:
August, 2019
Fichier:
PDF, 34 KB
english, 2019
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