Cast Monocrystalline Silicon: New Alternative for Micro-...

Journal of Microelectromechanical Systems 2019 / 8 Vol. 28; Iss. 4

Cast Monocrystalline Silicon: New Alternative for Micro- and Nano-Electromechanical Systems?

Liu, Zhengjun, Vahanissi, Ville, Chekurov, Nikolai, Tittonen, Ilkka, Savin, Hele
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Volume:
28
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/JMEMS.2019.2914155
Date:
August, 2019
Fichier:
PDF, 14.72 MB
english, 2019
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