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Optical Characterization of Non-Stoichiometric Silicon...

Coatings 2019 / 06 Vol. 9; Iss. 7

Optical Characterization of Non-Stoichiometric Silicon Nitride Films Exhibiting Combined Defects

Vohánka, Jiří, Ohlídal, Ivan, Ohlídal, Miloslav, Šustek, Štěpán, Čermák, Martin, Šulc, Václav, Vašina, Petr, Ženíšek, Jaroslav, Franta, Daniel
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Volume:
9
Journal:
Coatings
DOI:
10.3390/coatings9070416
Date:
June, 2019
Fichier:
PDF, 1.81 MB
2019
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