Technique of surface control with the Electrolyzed...

MRS Proceedings 2000 Vol. 612

Technique of surface control with the Electrolyzed D.I.water for post CMP cleaning

Shirakashi, Mitsuhiko, Itoh, Kenya, Katakabe, Ichiro, Kamezawa, Masayuki, Kihara, Sachiko, Tsujimura, Manabu, Saitoh, Takayuki, Yamada, Kaoru, Miyashita, Naoto, Kodera, Masako, Matsui, Yoshitaka
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Volume:
612
Année:
2000
Langue:
english
Journal:
MRS Proceedings
DOI:
10.1557/PROC-612-D11.2.1
Fichier:
PDF, 435 KB
english, 2000
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