Erratum: Multi frequency matching for voltage waveform...

Plasma Sources Science and Technology 2019 / 01 Vol. 28; Iss. 1

Erratum: Multi frequency matching for voltage waveform tailoring (2018 Plasma Sources Sci. Technol . 27 095012)

Schmidt, Frederik, Schulze, Julian, Johnson, Erik, Booth, Jean-Paul, Keil, Douglas, French, David M, Trieschmann, Jan, Mussenbrock, Thomas
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Volume:
28
Langue:
english
Journal:
Plasma Sources Science and Technology
DOI:
10.1088/1361-6595/aaeb4b
Date:
January, 2019
Fichier:
PDF, 383 KB
english, 2019
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