β-TaON thin films: production by reactive magnetron...

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Journal of Physics D Applied Physics 2019 / 04

β-TaON thin films: production by reactive magnetron sputtering and the question of non-stoichiometry

Salamon, Kresimir, Micetic, Maja, Sancho-Parramon, Jordi, Bogdanović Radović, Iva, Siketić, Zdravko, Šarić, Iva, Petravić, Mladen, Bernstorff, Sigrid
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Langue:
english
Journal:
Journal of Physics D: Applied Physics
DOI:
10.1088/1361-6463/ab1d09
Date:
April, 2019
Fichier:
PDF, 8.34 MB
english, 2019
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