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Superior-performance TiN films sputtered for capacitor...

Journal of Materials Science 2019 / 7 Vol. 54; Iss. 14

Superior-performance TiN films sputtered for capacitor electrodes

Sun, Nana, Zhou, Dayu, Shi, Shuyan, Liu, Feng, Liu, Wenwen, Chen, Qilei, Zhao, Peng, Li, Shuaidong, Wang, Jingjing
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Volume:
54
Langue:
english
Journal:
Journal of Materials Science
DOI:
10.1007/s10853-019-03652-z
Date:
July, 2019
Fichier:
PDF, 1.57 MB
english, 2019
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