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Ablation of polymers by focused EUV radiation from a...

Applied Physics A: Materials Science & Processing 2011 / 10 Vol. 105; Iss. 1

Ablation of polymers by focused EUV radiation from a table-top laser-produced plasma source

Frank Barkusky, Armin Bayer, Klaus Mann
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Volume:
105
Langue:
english
Pages:
7
DOI:
10.1007/s00339-011-6540-8
Date:
October, 2011
Fichier:
PDF, 785 KB
english, 2011
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