Effect of exposure to air on sheet resistance and phase...

Applied Physics A: Materials Science & Processing 2003 / 03 Vol. 76; Iss. 3

Effect of exposure to air on sheet resistance and phase composition of Co silicides annealed at a low temperature of 470

Q. Huang, A.S. Tan, J.M. Tan, I.S. Goh, Z.Z. Dong, C.K. Ong, T. Osipowicz
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Volume:
76
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1007/s00339-002-1911-9
Date:
March, 2003
Fichier:
PDF, 203 KB
english, 2003
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