Influence of substrate temperature on the chemical and...

Applied Physics A: Materials Science & Processing 2003 / 03 Vol. 76; Iss. 5

Influence of substrate temperature on the chemical and microstructural properties of MO-CVD ZrTiO4thin films

G. Padeletti, A. Cusmá, G.M. Ingo, A. Santoni, S. Loreti, C. Minarini, M. Viticoli
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Volume:
76
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.1007/s00339-002-1663-6
Date:
March, 2003
Fichier:
PDF, 373 KB
english, 2003
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