Effects of 2-mercaptopyridine and Janus Green B as levelers...

Thin Solid Films 2019 / 05 Vol. 677

Effects of 2-mercaptopyridine and Janus Green B as levelers on electrical resistance of electrodeposited copper thin film for interconnects

Zhang, Yumei, Hang, Tao, Dong, Mengya, Wu, Yunwen, Ling, Huiqin, Hu, Anmin, Li, Ming
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Volume:
677
Langue:
english
Journal:
Thin Solid Films
DOI:
10.1016/j.tsf.2019.03.012
Date:
May, 2019
Fichier:
PDF, 1.38 MB
english, 2019
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