TEOS layers for low temperature processing of group IV...

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 2018 / 11 Vol. 36; Iss. 6

TEOS layers for low temperature processing of group IV optoelectronic devices

Assali, Simone, Attiaoui, Anis, Mukherjee, Samik, Nicolas, Jérôme, Moutanabbir, Oussama
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Volume:
36
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology B
DOI:
10.1116/1.5047909
Date:
November, 2018
Fichier:
PDF, 3.11 MB
english, 2018
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