High-throughput process chain for single electron...

High-throughput process chain for single electron transistor devices based on field-emission scanning probe lithography and Smart Nanoimprint lithography technology

Lenk, Claudia, Krivoshapkina, Yana, Hofmann, Martin, Lenk, Steve, Ivanov, Tzvetan, Rangelow, Ivo W., Ahmad, Ahmad, Reum, Alexander, Holz, Mathias, Glinsner, Thomas, Eibelhuber, Martin, Treiblmayr, Dom
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
37
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology B
DOI:
10.1116/1.5067269
Date:
March, 2019
Fichier:
PDF, 5.69 MB
english, 2019
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué