Low temperature surface preparation of GaN substrates for...

Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 2019 / 03 Vol. 37; Iss. 2

Low temperature surface preparation of GaN substrates for atomic layer epitaxial growth: Assessment of ex situ preparations

Rosenberg, Samantha G., Pennachio, Daniel J., Wagenbach, Christa, Johnson, Scooter D., Nepal, Neeraj, Kozen, Alexander C., Woodward, Jeffrey M., Robinson, Zachary, Joress, Howie, Ludwig, Karl F., Palm
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Volume:
37
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology A
DOI:
10.1116/1.5080090
Date:
March, 2019
Fichier:
PDF, 7.52 MB
english, 2019
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