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Analytical characterization of BCxNyfilms generated by...

Analytical and Bioanalytical Chemistry 2010 / 09 Vol. 398; Iss. 2

Analytical characterization of BCxNyfilms generated by LPCVD with triethylamine borane

Olaf Baake, Peter S. Hoffmann, Marina L. Kosinova, Andreas Klein, Beatrix Pollakowski, Burkhard Beckhoff, Nadeshda I. Fainer, Valentina A. Trunova, Wolfgang Ensinger
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Volume:
398
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.1007/s00216-010-3965-4
Date:
September, 2010
Fichier:
PDF, 397 KB
english, 2010
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