Strategies for Reducing Particle Defects in Ti and TiN...

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IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 2018

Strategies for Reducing Particle Defects in Ti and TiN Thin-Film Deposition Processes

Kumar, Aditya, Bhattacharjee, Nirjhar, Patel, Bhavyen, Laloe, Jean-Baptiste, Famodu, Olugbenga, Ferain, Isabelle
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Année:
2018
Langue:
english
Journal:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
DOI:
10.1109/TSM.2018.2876463
Fichier:
PDF, 870 KB
english, 2018
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