Field-emission scanning probe lithography tool for 150 mm...

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 2018 / 11 Vol. 36; Iss. 6

Field-emission scanning probe lithography tool for 150 mm wafer

Holz, Mathias, Guliyev, Elshad, Ahmad, Ahmad, Ivanov, Tzvetan, Reum, Alexander, Hofmann, Martin, Lenk, Claudia, Kaestner, Marcus, Reuter, Christoph, Lenk, Steve, Rangelow, Ivo W., Nikolov, Nikolay
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Volume:
36
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology B
DOI:
10.1116/1.5048357
Date:
November, 2018
Fichier:
PDF, 7.39 MB
english, 2018
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