Polymer-based X-ray masks patterned by direct laser writing

Review of Scientific Instruments 2018 / 11 Vol. 89; Iss. 11

Polymer-based X-ray masks patterned by direct laser writing

Achenbach, Sven, Wells, Garth, Jacobs, Michael, Moazed, Banafsheh, Iyer, Swathi, Hanson, Jack
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Volume:
89
Langue:
english
Journal:
Review of Scientific Instruments
DOI:
10.1063/1.5041916
Date:
November, 2018
Fichier:
PDF, 5.82 MB
english, 2018
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