Structure of nanoporous VNx thin films obtained by ion-beam...

Thin Solid Films 2018 / 11 Vol. 666

Structure of nanoporous VNx thin films obtained by ion-beam assisted deposition technology

Guglya, A., Kalchenko, A., Solopikhina, E., Voyevodin, V., Vasilenko, R., Vlasov, V., Lyubchenko, E.
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Volume:
666
Langue:
english
Journal:
Thin Solid Films
DOI:
10.1016/j.tsf.2018.09.041
Date:
November, 2018
Fichier:
PDF, 10.10 MB
english, 2018
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