Impact of rapid cooling process in ultrahigh-temperature...

Japanese Journal of Applied Physics 2017 / 04 Vol. 56; Iss. 4S

Impact of rapid cooling process in ultrahigh-temperature oxidation of 4H-SiC(0001)

Sometani, Mitsuru, Nagai, Daisuke, Katsu, Yoshihito, Hosoi, Takuji, Shimura, Takayoshi, Takei, Manabu, Yonezawa, Yoshiyuki, Watanabe, Heiji
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Volume:
56
Langue:
english
Journal:
Japanese Journal of Applied Physics
DOI:
10.7567/JJAP.56.04CR04
Date:
April, 2017
Fichier:
PDF, 699 KB
english, 2017
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