Deposition of AlN films for acoustic biosensors by deep...

  • Main
  • 2018 / 8
  • Deposition of AlN films for acoustic biosensors by deep...
Thin Solid Films 2018 / 8

Deposition of AlN films for acoustic biosensors by deep oscillation magnetron sputtering: effect of bias voltage

Melo-Máximo, L., Lin, J., Murillo, A.E., Salas, O., Oliva-Ramírez, J., Oseguera, J., García-Farrera, B., Melo-Máximo, D.
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Langue:
english
Journal:
Thin Solid Films
DOI:
10.1016/j.tsf.2018.08.022
Date:
August, 2018
Fichier:
PDF, 10.11 MB
english, 2018
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué