Digital Platform for Wafer-Level MEMS Testing and...

Sensors 2016 / 09 Vol. 16; Iss. 9

Digital Platform for Wafer-Level MEMS Testing and Characterization Using Electrical Response

Brito, Nuno, Ferreira, Carlos, Alves, Filipe, Cabral, Jorge, Gaspar, João, Monteiro, João, Rocha, Luís
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Volume:
16
Langue:
english
Journal:
Sensors
DOI:
10.3390/s16091553
Date:
September, 2016
Fichier:
PDF, 17.84 MB
english, 2016
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