Multilayer Micromechanics Process with Thick Functional...

Proceedings (American Bar Association. Section of International and Comparative Law) 2017 / 08 Vol. 1; Iss. 4

Multilayer Micromechanics Process with Thick Functional Layers (EPyC40)

Louriki, Latifa, Staffeld, Peter, Kaelberer, Arnd, Otto, Thomas
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Volume:
1
Langue:
english
Journal:
Proceedings
DOI:
10.3390/proceedings1040296
Date:
August, 2017
Fichier:
PDF, 814 KB
english, 2017
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