Design, Fabrication, and Performance Characterization of...

Micromachines 2018 / 03 Vol. 9; Iss. 3

Design, Fabrication, and Performance Characterization of LTCC-Based Capacitive Accelerometers

Liu, Huan, Fang, Runiu, Miao, Min, Zhang, Yichuan, Yan, Yingzhan, Tang, Xiaoping, Lu, Huixiang, Jin, Yufeng
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Volume:
9
Langue:
english
Journal:
Micromachines
DOI:
10.3390/mi9030120
Date:
March, 2018
Fichier:
PDF, 15.62 MB
english, 2018
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