Low Temperature Ni-Al Ohmic Contacts to p-Type 4H-SiC Using...

Materials Science Forum 2018 / 6 Vol. 924

Low Temperature Ni-Al Ohmic Contacts to p-Type 4H-SiC Using Semi-Salicide Processing

Ekström, Mattias, Hou, Shuoben, Elahipanah, Hossein, Salemi, Arash, Östling, Mikael, Zetterling, Carl Mikael
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Volume:
924
Langue:
english
Journal:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/MSF.924.389
Date:
June, 2018
Fichier:
PDF, 987 KB
english, 2018
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