Multistep magnetron sputtering process and in-situ heat...

Surface and Coatings Technology 2018 / 09 Vol. 349

Multistep magnetron sputtering process and in-situ heat treatment to manufacture thick, fully oxidized and well crystallized YSZ films

Coddet, Pierre, Caillard, Amael, Vulliet, Julien, Richard, Caroline, Thomann, Anne-Lise
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Volume:
349
Langue:
english
Journal:
Surface and Coatings Technology
DOI:
10.1016/j.surfcoat.2018.05.065
Date:
September, 2018
Fichier:
PDF, 2.77 MB
english, 2018
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