A novel MEMS capacitive microphone using spring-type...

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Microsystem Technologies 2018 / 5

A novel MEMS capacitive microphone using spring-type diaphragm

Sedaghat, Sedighe Babaei, Ganji, Bahram Azizollah
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Langue:
english
Journal:
Microsystem Technologies
DOI:
10.1007/s00542-018-3951-x
Date:
May, 2018
Fichier:
PDF, 1.36 MB
english, 2018
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