Native oxide removal from Ge surfaces by hydrogen plasma

Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 2018 / 05 Vol. 36; Iss. 3

Native oxide removal from Ge surfaces by hydrogen plasma

Zheng, Yuanxia, Lapano, Jason, Bruce Rayner, G., Engel-Herbert, Roman
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Volume:
36
Langue:
english
Journal:
Journal of Vacuum Science & Technology A
DOI:
10.1116/1.5020966
Date:
May, 2018
Fichier:
PDF, 803 KB
english, 2018
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