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Selective deposition of anatase, rutile and brookite films...

Selective deposition of anatase, rutile and brookite films by vapor phase decomposition of alkyl titanates.

TAKAHASHI, Yasutaka, WAKAYAMA, Satoshi, OGISO, Akifumi, SUGIYAMA, Kohzo
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Volume:
35
Année:
1984
Journal:
Journal of the Metal Finishing Society of Japan
DOI:
10.4139/sfj1950.35.584
Fichier:
PDF, 773 KB
1984
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